반도체 제조에 있어서 각종 재료들의 온도제어는 대단히 중요하다.5nm정도의 공정에 사용되는 약품 등의 온도변화에 따라 상당한 각 물질에 영향이 미치기 때문이다.이에 화학적인 액체나 가스등의 기체의 온도를 정밀하게 제어할 필요가 있다.
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